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聶蘭艦
聶蘭艦
中國建筑材料科學研究總院有限公司教授級高工

聶蘭艦,教授級高工,現任建材工業石英玻璃重點實驗室主任及石英新材料研究所副所長。自2011年工作以來,一直從事高性能石英玻璃材料的制備技術、裝備與標準化等研究工作。先后作為項目負責人主持國家級科研項目10項,重點參與國家級科研項目十余項,研制出慣導用高均勻石英玻璃、大尺寸零膨脹石英玻璃、全合成石英管、無氯抗輻射石英玻璃、間接法合成高純無水石英玻璃和摻雜功能石英玻璃等多項石英玻璃新材料,為航天、強激光、半導體和精密光學等領域提供了關鍵基礎材料,獲授權專利31件(其中授權發明22件)、發表論文20余篇、參與論著2部、制修訂標準20余項,榮獲科技獎7項。


演講摘要:

本報告深入探討高純石英材料制品在半導體制造中核心應用價值。其獨特的物理和化學特性,如耐高溫、耐腐蝕、低膨脹和高度絕緣等,使其成為半導體工業中不可替代的基礎性材料。

在半導體制造過程中,高純石英制品被廣泛應用于硅片制造、晶圓制造和芯片制造等各個環節。特別是在硅片制造中,石英坩堝是拉制單晶硅棒的關鍵部件;在晶圓制造中,石英玻璃擴散管、石英舟等石英玻璃器具被大量使用;在芯片制造中,光刻、刻蝕和薄膜沉淀等工藝環節也需要使用高純石英材料制品,如光掩膜基板等。

隨著半導體技術的不斷發展,對高純石英材料制品的要求也越來越高。未來,隨著物聯網、區塊鏈、汽車電子等新興技術的不斷涌現,半導體行業對高端石英產品的需求量有望繼續保持增長,高純石英材料制品在半導體制造中的應用前景廣闊。


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