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真空手指6寸裝配

6寸真空手指是一種在半導(dǎo)體制造過程中廣泛應(yīng)用的高精密裝置，專門設(shè)計用于搬運(yùn)6英寸硅片（wafer）。這種裝置通過負(fù)壓（真空吸附）的方式吸取和搬運(yùn)硅片，確保硅片在高潔凈環(huán)境中的安全和穩(wěn)定。

12寸支撐石英環(huán)

該產(chǎn)品在外延單片中與升降軸配合使用，升降軸下落時，支撐環(huán)三個撐片拖起升降軸支撐銷子，銷子頂起wafer，從而為機(jī)械手拿取wafer做準(zhǔn)備。

石英小舟

該產(chǎn)品由石英玻璃棒，石英玻璃片，經(jīng)過開槽，焊接，磨砂等工藝加工制成。石英小舟用于在高溫工藝過程中承載硅片，如擴(kuò)散、氧化和退火等。石英小舟因其耐高溫、抗腐蝕和低污染的特性，確保硅片在高溫處理過程中保持純凈，不受污染。石英小舟的設(shè)計需要確保均勻加熱和良好的氣流分布，以提高工藝效果和產(chǎn)品質(zhì)量。其使用對生產(chǎn)效率和光伏電池的性能具有重要影響。

石英舟托

該產(chǎn)品由石英玻璃棒，石英玻璃片，經(jīng)過開槽，焊接，磨砂等工藝加工制成。石英舟托用于支撐和固定石英小舟及其承載的硅片，在高溫工藝中，如擴(kuò)散、氧化和退火時保持穩(wěn)定。石英舟托因其優(yōu)異的耐高溫和抗腐蝕性能，確保在嚴(yán)苛的生產(chǎn)條件下不變形、不污染硅片。它有助于均勻分布熱量和氣流，保證工藝的均一性和產(chǎn)品質(zhì)量，提高生產(chǎn)效率和光伏電池的性能。

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